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Produces vital parts of semiconductor equipments

NANOPURE BLADES

Valve Blade & Load Lock
  • 半导体工程包括大量小工程,实现各工程的Chamber之间,通过inner door移动Wafer.
    移动后,根据各工程别Chamber环境决定valve blade compound材质.
  • Valve blade大体分为bsv ( bonded slit valve )type与vat(企业名)type 2种,各设备制造公司别有多种.
    本社制造大约20多种valve blade.
  • BSV type(Rocker V/V Blade)

  • VAT type(12” Large VAT, 300mm Load Lock)