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O-ring
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    OVERVIEW

    先进的技术和研究决定了半导体工艺的收率。

    01 Overview O-ring是什么?

    Overview

    • Seal中最常用的Seal
    • 适用于固定用、往复运动用、旋转用于任何部位。
    • 规格材质多样,经济效益好,规格4000多种。
    • O形圈的规格以内径和厚度为基准定义(mm or inch)

    패킹용 고무O-Ring

    패킹용 고무O-Ring

    02 Characteristics

    特点

    组装到槽中,通过与湿面(SLIDING SURFACE)的挤压接触,在反弹弹性上
    因此具有密闭力。
    O形圈在组装的同时被挤压,自动形成密封力,特别是用于固定时
    寿命长。

    03 applied role

    应用力活

    安装在半导体生产设备上的SEALING材质是精密零件,典型地用弹性物质铸造或塑料加工而成,在使用的设备或零件内,在FLUID或GAS的通道上形成BARRIER。 BARRIER或SEALING ACTION是根据非常贴近SEALING表面的SEALING材质的特性而形成的。 在周期性运动或老化、温度、压力暴露于CHEMICAL时,应保持一定时间的原始性能,而不粘附在SEALING表面。

    04 APPLICATIONS

    使用领域

    Slit Valve

    致命Sealing
    部位

    使用Static seal
    的部位

    暴露于Process Gas
    中的使用Static seal的部位

    Diffusion
    systems

    Etch and CVD

    (Chemical Vapor Deposition)

    Resist
    Strippers

    05 Structure and shape

    组成与形态